Горизонтальная тара для хранения и транспортировки пластин с разделителями

Горизонтальная тара для хранения и транспортировки полупроводниковых пластин с разделителями представляет собой усовершенствованную систему, предназначенную не только для транспортировки, но и для длительного хранения пластин в условиях чистых производственных помещений. Данный тип тары, известный как горизонтальный транспортировочный контейнер для пластин (Horizontal Wafer Shipper, HWS), оснащен герметичной камерой для размещения множества пластин в штабелированном массиве с разделителями между ними и амортизирующими прокладками сверху и снизу стопки. Разделители, используемые в этой таре, изготавливаются из материалов с низким содержанием ионных примесей и минимальным выделением частиц, что критически важно для поддержания чистоты поверхности пластин.