Тефлоновые групповые контейнеры для пластин диаметром 76, 100, 127, 150 мм изготовлены из PFA или тефлона. Конструкция включает систему точных канавок с шагом 5-10 мм (в зависимости от диаметра пластин), обеспечивающую безопасное размещение от 1 до 25 пластин в одном контейнере. Доступна ручка из PFA пластика к комплектации к тефлоновой таре. Наша специализированная тара из перфторалкоксильного сополимера (PFA), широко известного как тефлон или фторопласт, разработана для обеспечения максимальной защиты и сохранности кремниевых пластин на самых агрессивных этапах полупроводникового и кристального производства. Материал PFA обладает уникальной комбинацией свойств: абсолютной инертностью к подавляющему большинству химических реагентов, термостойкостью до +260 °C, сверхнизким коэффициентом трения и отсутствием выделения примесей. Это делает наши кассеты идеальным инструментом для операций, где обычные полимеры или металлы разрушаются за считанные минуты. Мы предлагаем кассеты под четыре стандартных диаметра пластин – 76 мм, 100 мм, 127 мм и 150 мм, каждая из которых спроектирована с учетом особенностей загрузки, механической фиксации и обеспечения равномерного доступа травильных или очищающих растворов ко всей поверхности подложки. Все кассеты из PFA успешно выдерживают длительное воздействие широкого спектра агрессивных жидкостей, включая смесь Каро (пиранья) – раствор серной кислоты (H₂SO₄) и пероксида водорода (H₂O₂) в различных пропорциях, который используется для удаления стойких органических загрязнений. Кроме того, они стабильны в растворах фторида аммония (NH₄F), азотной кислоты (HNO₃), фтороводорода (HF), хлороводорода (HCl), ортофосфорной кислоты (H₃PO₄) и концентрированной серной кислоты – даже при повышенных температурах до 135 °C, что характерно для интенсивных процессов травления и очистки. Особо стоит отметить совместимость с аммиачно-перекисным раствором (стандартный SC1 – смесь NH₄OH + H₂O₂ + H₂O), который применяется для удаления частиц с поверхности пластин. В этой среде наши кассеты гарантируют стабильность и сохранность геометрии при температурах до 75 °C, полностью исключая риск деформации или выщелачивания ионов.
